Hochvakuumpumpen

Hochvakuumpumpen und Ultrahochvakuumpumpen werden primär in den Bereichen Forschung, Analytik, Beschichtungs- und Halbleitertechnik eingesetzt. Je nach Anwendung kommen Turbomolekularpumpen, Öldiffusionspumpen oder Kryopumpen zum Einsatz.

Verschiedene Pumpentypen der Serien TURBOVAC, DIP, OB und COOLVAC garantieren die perfekte Anwendung in allen Einsatzbereichen. Ausschlaggebend bei der Auswahl der entsprechenden Hochvakuumpumpe sind neben der Applikation der Enddruck, der Gasdurchsatz, die Kompression sowie das Saugvermögen.



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