Messgeräte

Der heute messbare Druckbereich des Vakkums reicht über 15 Zehnerpotenzen. Man misst diesen Druckbereich mit Messgeräten, die als Vakuummeter bezeichnet werden. Aus physikalischen Gründen ist es nicht möglich, einen Vakuumsensor zu bauen, mit dem man den gesamten Druckbereich messen kann. Daher werden verschiedene Vakuummeter verwendet, von denen jedes einen charakteristischen Messbereich hat, der sich meist über einige Zehnerpotenzen erstreckt. Man unterscheidet so genannte direkte und indirekte Druckmessungen. Bei der direkten Druckmessung ist die Anzeige des Messinstrumentes von der Art des zu messenden Gases unabhängig. im Gegensatz dazu ist bie der indirekten Druckmessung der Druck als Funktion einer druckabhängigen Eigenschaft des Gases ermittelt.

Messgeräte mit Anzeigen

Bei mechanischen Vakuummetern erfolgt die Druckmessung direkt, d.h. der Druck, der auf die Membranfläche wirkt, wird direkt gemessen.

Messgeräte_aktive_Sensoren_Ceravac

Aktive Sensoren

Mit aktiven Sensoren ist die direkte Integration eines Vakuummeßsystems in die Anlagensteuerung möglich.

Messgeräte_passive_Sensoren_Ionivac

Passive Sensoren

Für spezielle Anwendungsbereiche sind auch passive Sensoren verfügbar.