Hochvakuum

Hochvakuumpumpen

Hochvakuumpumpen werden zum Erzeugen von Vakua von 10-3-10-7 mbar verwendet. Dies sind typische Vakuumbereiche für Turbomolekular und Öldiffusionspumpen.

Mittels Kryotechnik können auch Vakua von 10-11 mbar hergestellt werden.

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