Vor-Vakuumpumpen

Diese werden dazu benutzt, um in Pumpsystemen das nötige Vorvakuum
(1mbar -1×10-2mbar) herzustellen, bei dem eine Hochvakuumpumpe zu arbeiten beginnen kann.

Vorvakuumpumpen können trocken oder ölgedichtet ausgeführt sein und werden in Verbindung mit Turbomolekularpumpen und Öldiffusionspumpen eingesetzt oder in mehrstufigen Pumpständen mit z.B. RUVAC-Wälzkolbenpumpen

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