Vakuumpumpen

Hochvakuumpumpen für die Forschung oder hohe Saugleistungen für den industriellen Einsatz

Diese werden dazu benutzt, um in Pumpsystemen das nötige Vorvakuum (1mbar -1×10-2mbar) herzustellen, bei dem eine Hochvakuumpumpe zu arbeiten beginnen kann.

 

Vorvakuumpumpen können trocken oder ölgedichtet ausgeführt sein und werden in Verbindung mit Turbomolekularpumpen und Öldiffusionspumpen eingesetzt oder in mehrstufigen Pumpständen mit z.B. RUVAC-Wälzkolbenpumpen

 

Hochvakuumpumpen

 

Hochvakuumpumpen werden zum Erzeugen von Vakua von 10-3-10-7 mbar verwendet. Dies sind typische Vakuumbereiche für Turbomolekular und Öldiffusionspumpen.

Mittels Kryotechnik können auch Vakua von 10-11 mbar hergestellt werden.